에스아이택

:::::: 에스아이택(주) :::::

현위치:: HOME > 자료실 > 공지사항&새소식

제 목

기계硏-세크론, 세계 최정밀 반도체 검사장비 개발

[ 2008-08-20 09:01:48 ]

글쓴이

세인이엔지

세계에서 가장 정밀한 반도체 검사장비가 국내 기업과 연구소의 합작으로 탄생했다.

한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부 박천홍 박사팀은 세크론과 공동으로 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 정밀 측정할 수 있는 검사장비를 개발, 상용화에 성공했다고 19일 밝혔다.

반도체칩 검사장비는 칩안의 패드에 미세한 바늘을 접촉시킨 후 테스터(검사기)가 전기적 신호를 보내 칩 불량여부를 판단한다. 칩 집적기술이 발달되면서 점점 좁아지는 칩안의 패드 간격을 검사하기 위해 정밀도 향상은 필수적이다.

이번에 개발한 검사장비의 접촉 정밀도는 1㎛(마이크로미터, 100만분의 1m) 수준으로 기존제품(2㎛)의 2배이다. 또한 300mm 웨이퍼를 한번에 검사할 수 있어 생산성이 대폭 향상됐다.

기계연구원측은 이 장비개발로 일본업체가 80%이상을 점유하고 있는 850억원 규모의 내수 시장에서 연 300억원 이상 수입대체효과를 낼 것으로 기대하고 있으며 곧 수출도 가능할 것이라 예상했다.

삼성전자에서도 이미 이 제품의 접촉 정밀도 자체 평가를 마치고 140억 가량을 구입했다.

기계연 박천홍 박사는 "실제 반도체 생산라인에 적용할 수 있도록 산업계와 연구소가 공동으로 장비를 개발했다는데 의미가 있다"고 밝혔다.

3/3, 총 게시물 : 51

번호	제 목	작성자	올린날짜	다운	조회수

11	하이닉스반도체,신개념 고성능 메모리 모듈 개발	세인이엔지	2008-02-26	20	2310

10	하이닉스, 수익성 좋은 모바일D램 3배로 증산	세인이엔지	2008-02-22	20	2013

9	HNC, 디스플레이 클린룸용 국소 클린시스템 기술 특허 취득	세인이엔지	2008-02-21	21	1882

8	LG.Philips LCD, LG 디스플레이로 사명변경예정	세인이엔지	2008-02-21	22	1973

7	戊子年 새해 福 많이 받으십시오	세인이엔지	2007-12-31	20	1891

6	넉넉하고 행복한 한가위 되세요^^*	세인이엔지	2007-09-22	22	2042

5	새해 복 많이 많이 받으세요!!	세인이엔지	2006-12-31	47	2560

4	시공 지침서 Rev "C" 참조 하세요..	세인이엔지	2006-11-27	34	5825

3	House-Vacuum INLET VALVE(Floor, Wall Type) 출시!!	세인이엔지	2006-11-03	34	2953

2	필독!!! (세인이엔지 임직원)	세인이엔지	2006-06-16	33	2443

1	홈페이지 오픈 !!! 많은 관심 부탁드립니다.	세인이엔지	2006-06-16	27	1775

첫 페이지 1 2 3

이름 제목 내용